【专利解密】福建晋华改良DRAM单元结构

【嘉德点评】福建晋华目前只专注于DRAM 的制造，虽然相对于国外半导体存储三巨头而言，技术在某些方面会有不足，但是从16年成立至今，短短三年内，就已经达到DRAM技术的较高水平，其实力仍不容小觑。

集微网消息，现如今全球范围内的半导体存储行业已经形成了三星、SK海力士和镁光三足鼎立之势，而放眼国内，福建晋华、兆易创新、紫光集团等企业也逐渐开始抗起我国半导体存储行业的大旗。

随着各种电子产品朝小型化发展的趋势，动态随机存取存储器(dynamic randomaccess memory ,DRAM)单元的设计也必须符合高集成度及高密度的要求。对于具备凹入式栅极结构的DRAM单元而言，由于它可以在相同的半导体基底内获得更长的载流子通道长度，进而减少电容结构的漏电情形产生，因此在目前主流发展趋势下，具备凹入式栅极结构的DRAM单元已逐渐取代仅具备平面栅极结构的DRAM单元。

然而，受限于制作工艺技术之故，现有具备凹入式栅极结构的DRAM单元仍存在有许多缺陷，还待进一步改良并有效提升相关存储器元件的效能及可靠度。

为了解决这一问题，早在2016年福建晋华就申请了一项名为“动态随机存取存储器元件的形成方法”的发明专利（申请号：201611198384 .8），申请人为福建省晋华集成电路有限公司。

该专利提供了一种随机动态处理存储器元件的形成方法，主要是利用单一制作工艺在其位线内形成密度高且厚度较小的阻障层，所以，该方法可以在制作工艺简化的前提下降低阻障层的阻值。

图1

图2

上图1是该专利中提出的动态随机存取存储器元件10，图2是图1中沿着切线B-B’的剖面示意图。由上面两图我们可以看到，该专利提出的动态随机存取存储器元件10主要包括：基底100、存储区(记忆体区) 102、周边区104、字线(字符线)110以及位线160。

一般来说，基底100由硅基底、含硅基底(如SiC、SiGe)或硅覆绝缘(silicon-on-insulator ,SOI)基底等构成。除了存储区102和周边区104均置在了基底100上面之外，基底100上还形成有多个主动区(active area ,AA)101，相互平行地沿着第一方向延伸。另外其内部还形成有多个埋藏式栅极114，埋藏式栅极114是相互平行地沿着第二方向延伸，并横跨第一方向。

此外，基底100上还有多个位线160，其主要在埋藏式栅极114上产生，且它们相互平行地沿着第三方向延伸，并同时横跨主动区101与字线110，如图1所示。位线160与字线110之间通过位线接触插塞(bit line contact ,BLC)160a来电连接至各该晶体管元件的源极/漏极区，并且位线接触插塞160a位于两字线110之间。

在该专利提出的方法是利用射频物理气相沉积制作工艺来形成位线160的阻障层163，使其具有双层结构，这样就降低了阻碍层的厚度，使位线160具有较低的阻值与较小的整体厚度。另一方面，阻障层163虽然具有双层结构，但其整体厚度仅介于40埃至50埃之间，因而可以很好地改善位线160的高度并且简化了制作工艺。

福建晋华目前只专注于DRAM 的制造，虽然相对于国外半导体存储三巨头而言，技术在某些方面会有不足，但是从16年成立至今，短短三年内，就已经达到DRAM技术的较高水平，其实力仍不容小觑。（校对/ Jurnan）

2.“微信支付”被诉侵犯扫码专利权

“扫码”已成为用户在网络生活中的一种习惯。因认为使用的二维码侵犯所属专利，北京两家公司一纸诉状将腾讯、财付通和凡客诚品告上法庭，索赔100万元。昨日，北京青年报记者获悉，北京知识产权法院公开宣判，认为微信支付服务并不落入涉案专利保护范围，驳回两原告的诉讼请求。 

据了解，早在2012年11月，北京微卡时代信息技术有限公司（简称微卡时代公司）从银河联动信息技术（北京）有限公司（简称银河联动公司）处获得了名为“采集和分析多字段二维码的系统和方法”的发明专利，与卓望信息技术（北京）有限公司共享专利权。 

涉案专利包括了移动支付中的“扫一扫”二维码采集、后台解码、辨识字段、信息匹配、最终识别等全过程。 

2019年10月11日，微卡时代公司、卓望公司将财付通支付科技有限公司、腾讯科技（深圳）有限公司、凡客诚品（北京）科技有限公司起诉至北京知识产权法院，认为微信支付侵犯了其专利权，故要求三被告赔偿经济损失89万元及合理损失11万元。 

腾讯方面主张不侵权抗辩，认为微信支付作为支付渠道，其二维码为单字段，而原告专利为“多字段二维码”，其二维码会包含有特定商户信息，与微信支付的运营模式并不相同。微信扫码支付采取了完全不同的技术手段，实现完全不同的功能和效果，不构成等同侵权。 

腾讯主张，二维码的采集、解码、辨识都是现有技术，不能说在专利中对字段进行人为割裂，就成了对方的独有保护范围。涉案微信扫码副服务没有使用涉案专利的技术方案，没有落入其保护范围。 

凡客公司主张，其与财付通公司签订了支付协议，只是购买使用了微信扫码支付服务，属于善意使用者。 

经审理，北京知识产权法院认为，虽然微信扫码支付在采集、辨识等步骤上与涉案专利部分相同，但在分析、解码阶段的技术与涉案专利并不相同。根据相关法律法规，专利权人不能在技术特征不同的情况下，将不属于保护范围的技术利用等同原则重新纳入专利权保护范围，以“两头得利”。 

最终，法院判定微卡公司、卓望公司主张微信扫码支付侵犯涉案专利的主张不成立，驳回两原告的诉讼请求。环球网

3.苹果公司已获虚拟现实系统的音频技术专利

《商业内幕》报道称，美国苹果公司获得处理音频信号系统的专利，这项专利将可以在虚拟现实设备上使用。

    在美国专利商标局的档案中发现一个名为“为使用抑制串扰设备的听众消除虚拟声音系统”的申请。在这个申请中描述了旨在把音频信号分为几个频道的声音处理系统。

    在使用这种技术时用户应该有一种感觉，就是声音来自不同区域，而不是直接来自扬声器或者耳机。

    媒体资料报道称，这种技术将能为创建虚拟现实和实拟虚境的应用程序和设备。预计，为虚拟现实系统(VR)工作而配备3D传感系统的新iPad Pro平板电脑将成为可能使用新技术的一个设备。俄罗斯卫星网

4.重庆每万人口发明专利拥有量突破10件

　2019年12月31日，记者从市政府新闻办召开的全面加强知识产权创造运用保护新闻发布会获悉，截至2019年11月，全市申请专利59856件，发明专利申请18075件，占30.2%；每万人口发明专利拥有量达到10.42件，同比增长17.34%；有效注册商标总量达到49.37万件，中国驰名商标总量达到159件，地理标志总量达到252件，有效注册商标、驰名商标、地理标志总量位居西部第二。

　　知识产权创造质量和运用效益持续提升，得力于我市在优化营商环境上一揽子扎实举措。例如，通过放管服改革，知识产权申请注册更加便利。目前，我市专利申请受理由5个工作日压缩至3个工作日，专利质押登记、专利许可合同备案由7个工作日压缩至平均5个工作日。

　　知识产权运用方面，国家知识产权运营服务体系建设重点城市落地江北区，获中央财政1.5亿元专项资金支持；推进知识产权质押融资和知识价值信用贷款，2019年前11个月，我市完成专利商标质押登记248件，质押金额8.72亿元，知识价值信用贷款32.6亿元，知识产权出资12.3亿元。

　　知识产权优势培育方面，我市以高新技术企业、规模以上工业企业为重点，引导市场主体规范管理知识产权，将知识产权管理纳入研发、生产、经营、采购等全流程和全链条。截至2019年11月，全市贯标达标企业累计达到400余家，较2018年同期增长3倍。全年新增国家知识产权示范企业5家、国家知识产权优势企业60家，累计分别达到25家、255家。重庆日报